特許
J-GLOBAL ID：200903015021489568
合焦点型変位測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-307578
公開番号（公開出願番号）：特開平7-139940
出願日： 1993年11月12日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 高速測定及び高精度測定を可能とした合焦点型変位測定装置を提供する。【構成】 光ビームを対物レンズを介して測定面に集光しその反射光を受光してフォーカスエラー信号を得るための出力信号を出す光学系、及びその対物レンズを駆動するアクチュエータを含む光ピックアップと、フォーカスエラー信号生成回路21、及びその出力により位相補正・駆動回路22を介してアクチュエータ制御を行うサーボ系20と、アクチュエータに取り付けられてその変位量を検出するエンコーダ15の出力信号をカウントするカウンタ25を含むスケール信号処理系27とが設けられ、フォーカスエラー信号のレベルはA/Dコンバータ23及び換算回路24により変位量に換算され、これが補正値として合算回路26でエンコーダ15が出力する変位量に合算される。
請求項（抜粋）：
光ビームを対物レンズを介して測定面に集光しその反射光を受光してフォーカスエラー信号を得るための出力信号を出す光学系、及びその対物レンズを駆動するアクチュエータを含む光ピックアップと、この光ピックアップの出力信号からフォーカスエラー信号を得て、これにより前記アクチュエータを制御駆動するサーボ機構と、前記アクチュエータに取り付けられてその変位量を検出するエンコーダと、このエンコーダの出力信号を処理して前記測定面の変位を出力する信号処理手段と、前記フォーカスエラー信号のレベルを変位量に換算して前記エンコーダが出力する変位量に合算する手段と、を有することを特徴とする合焦点型変位測定装置。
IPC (3件)：
G01C 3/06
, G01B 11/30 102
, G01B 11/00
