大面積サンプル表面の非破壊測定用光学式プローブ顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡部正夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-274618
公開番号（公開出願番号）：特開平8-240599
出願日： 1995年10月24日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】検査できるサンプル表面の割合の制限という問題を解消する非破壊測定用光学式プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】光学式プローブ顕微鏡100は、垂直方向に向けられた光ファイバー14を持つ。ファイバー14は測定されるサンプル35の水平面に光を放射するチップ14.1を持つ。この面は必要・不要両方の平滑からの偏差を持つ。ファイバーチップにディザ運動を起こさせる電気機械装置は、ファイバーチップに2方向の水平スキャン運動を起こさせる別の電気機械装置に支援されている。ディザ運動はスキャン運動よりも高い周波数を持つ。スキャンがうまく行われる間に、別の機器36、37がサンプル35自体を1つの水平位置から別の位置に動かす。

請求項（抜粋）：

(a)本体の表面に近接するチップ(14.1)を持つ光ファイバーと、(b)チップに取り付けられ、チップにディザ運動を起こさせる第1電気機械装置(31、32、33、34)と、(c)第1装置に取り付けられ、ディザ運動の少なくとも100倍の周期を持つスキャン運動をチップに起こさせる第2電気機械装置(21、22、23、24)と、(d)チップから放射され表面に入射する光の放射に反応して本体の表面から出る光の放射を受け取るように調整された顕微鏡(300)と、(e)顕微鏡によって受け取られた光の放射に反応して顕微鏡からの光の放射を受け取るように調整され、連続的な光電面を持ち(図5:46.3)、光の放射は顕微鏡によって光電面に、光電面の横寸法の約10分の1の横寸法を持つ画像部分(40)を形成するように焦点が合わされ、その時、顕微鏡から受け取られた光の放射に反応して、画像部分の位置を示す電気的出力(41.1、42.1、43.1、44.1)を発生する、光学式画像位置検知器(42)と、から成る光学式プローブ顕微鏡(図2:200、500)。

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