特許

J-GLOBAL ID：200903015039599220

電子部品の真空吸着金具

発明者： 小澤 一嘉 ,  矢部 鏡司 ,  尾川 健男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立清水エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-183667
公開番号（公開出願番号）：特開平7-037965
出願日： 1993年07月26日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【構成】廻り止め機構付外筒6とスプライン軸7の組合わせ品を主部品とし、スプリング3及び吸着パッド4で構成されるスプライン軸7は中空化しその中空部を真空ライン8として使用しコンパクトにまとめ更に先端部をおねじ9にすることにより吸着パッド4及び吸着部品等が脱着できるようになっていた。また、スプリング3を組み込むことによりスプライン軸7の上下動のアジャスト機構を持たせている。【効果】軸回転方向のがたのない正確な位置決め機構部品として、かつ高寿命の部品として提供でき、スプライン軸の中空部を真空ラインとしているのでコンパクトにすることができる。また、スプライン軸の先端部ねじ化により多品種多形状の吸着部品を接続することができる。

請求項（抜粋）：

廻り止め機構付外筒とスプライン軸の組合わせ品の採用により、軸回転方向のがたをなくしたことを特徴とする電子部品の真空吸着金具。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/06 ,  H01L 21/66