特許

J-GLOBAL ID：200903015039834980

化学センサ、及び化学センサの製造方法

発明者： 杉村 博之 ,  高井 治 ,  金 圭寧
出願人/特許権者： 名古屋大学長
代理人 (1件)： 杉村 興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-320555
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121329
出願日： 2001年10月18日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】 小型で軽量かつ高感度な、新規な化学センサを提供する。【解決手段】 ポリエチレンオキサイドーポリプロピレンオキサイドーポリエチレンオキサイドの3ブロックからなるブロック共重合体と、テトラエトキシシランとの混合溶液を調整した後、この混合溶液をスピンキャスト法により水晶振動子上に塗布することにより、高分子-シリカ複合膜を作製する。次いで、この複合膜に対して真空紫外光を照射し、前記複合膜の有機物を光分解除去して、表面に貫通したnmオーダの細孔を有するナノポーラス薄膜を作製し、目的とする化学センサを得る。

請求項（抜粋）：

水晶振動子と、この水晶振動子上においてナノポーラス薄膜とを具えることを特徴とする、化学センサ。