特許

J-GLOBAL ID：200903015049736668

圧電薄膜素子

発明者： 岡 史人 ,  柴田 憲治
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 油井 透
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-061099
公開番号（公開出願番号）：特開2007-242788
出願日： 2006年03月07日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：

【課題】所定の面方位に高く配向した白金膜を安定して形成することによって、圧電薄膜にペロブスカイト型の結晶構造を安定して持つ圧電薄膜素子を得る。【解決手段】基板1上に下部金属膜7、圧電薄膜5、上部金属膜6の順に積層された構造の圧電薄膜素子において、下部金属膜7は、基板1上に形成された島状の接着膜3と、接着膜3上に形成された白金膜4とからなる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板上に下部金属膜、圧電薄膜、上部金属膜の順に積層された構造の圧電薄膜素子において、 前記下部金属膜は、前記基板上に形成された島状の接着膜と、前記接着膜上に形成された白金膜とからなることを特徴とした圧電薄膜素子。

IPC (4件)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (5件)：

H01L41/08 C ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z