特許
J-GLOBAL ID：200903015050832743
研磨ヘッド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-064718
公開番号（公開出願番号）：特開平10-264021
出願日： 1997年03月18日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、研磨装置に用いられる研磨ヘッドに関し、回転軸が軸長方向に加速度を有して移動し回転軸に慣性力が発生した場合にも安定した研磨荷重を得ることを目的とする。【解決手段】 一端に研磨工具が固着される回転軸と、回転軸を軸長方向に移動可能に支持する流体軸受と、回転軸に固定されるロータとロータの回りに非接触で配置されるステータとを有するモータと、回転軸の他端に取り付けられた継手を介して回転軸に接続される荷重検出器と、荷重検出器を回転軸の軸長方向に案内するリニアガイドと、回転軸の軸長方向への移動量を検出する移動検出器と、荷重検出器を介して回転軸に負荷を与える加圧器と、回転軸が軸長方向に加速度を有して移動する時に回転軸に発生する慣性力を求め加圧器による回転軸への負荷を制御する制御器とを備えてなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
一端に研磨工具が固着される回転軸と、前記回転軸を軸長方向に移動可能に支持する流体軸受と、前記回転軸に固定されるロータと前記ロータの回りに非接触で配置されるステータとを有するモータと、前記回転軸の他端に取り付けられた継手を介して前記回転軸に接続される荷重検出器と、前記荷重検出器を前記回転軸の軸長方向に案内するリニアガイドと、前記回転軸の軸長方向への移動量を検出する移動検出器と、前記荷重検出器を介して前記回転軸に負荷を与える加圧器と、前記回転軸が軸長方向に加速度を有して移動する時に前記回転軸に発生する慣性力を求め前記加圧器による前記回転軸への負荷を制御する制御器と、を備えてなることを特徴とする研磨ヘッド。
IPC (3件)：
B24B 41/04
, B23Q 15/007
, B24B 49/00
B24B 41/04
, B23Q 15/007
, B24B 49/00
