特許

J-GLOBAL ID：200903015051376954

光学素子

発明者： 千葉 啓子
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-212848
公開番号（公開出願番号）：特開2001-042111
出願日： 1999年07月27日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】 変形の生する虞れがない回折光学素子を得る。【解決手段】 直径a=150mm、厚さt=10mmの石英から成る平行平板を基板21に用いると、厚さtが3.73≦t≦48.34mmの範囲であるため自重変形を生ぜず、光学材料として十分な精度の加工を施すことができる。作成に当っては先ず、基板21上に微細パターンを加工するための光に感光する有機物から成るレジスト22を塗布し、続いて液状のレジスト22に含まれている溶媒を揮発させる。その後に、加工したい面形状が形成されているレチクル25を介してi線を用いて露光する。更に、基板21にレジストパターン28をレチクルとしてエッチングし、この工程を繰り返すことにより、2.8μmの最小ピッチを有し、8段形状を有する回折光学素子29を基板21上に形成する。

請求項（抜粋）：

石英板から成る基板上に回折光学素子を形成し、波長λ=193(nm)のArFレーザー光を用い、前記回折光学素子の直径をa(mm)、厚みをt(mm)、光学素子枚数をM、開口数をNAと、x=log(22500t/a2)としたときに、log(3.1129・10-2)≧-2.4025・10-1x3-2.7771・10-1x2-2.0525x-2.1143・10-12.321・103NA2/M≧t2.8675・106/a2≧tの関係を満足することを特徴とする光学素子。

Fターム (6件)：

2H049AA02 ,  2H049AA12 ,  2H049AA45 ,  2H049AA51 ,  2H049AA55 ,  2H049AA63