特許

J-GLOBAL ID：200903015063593250

検査装置

発明者： 今川 久司 ,  村上 伸夫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東部セミコンダクタ株式会社
代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-221114
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062289
出願日： 1994年08月23日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 検査装置のコストおよびタクトタイムを低減する。【構成】 待機ステージ20に間欠回転でステーション24、25、26、27を構成するターンテーブル21を設備し、各ステーション毎にIC保持ポケット23を配設する。直交型ロボット41のスライダー45に供給用ハンドリング装置46と収納用ハンドリング装置47とを設備し、供給用ハンドリング装置46がターンテーブルの供給ステーション24に停止したポケット23にIC1を移載する時に、収納用ハンドリング装置47がターンテーブルの収納ステーション26に停止したポケット23の検査済IC1Aを受け取るように構成する。検査用移送装置30にはターンテーブル21の検査ステーション25のポケット23と検査ステージ11のソケット12とを通る円弧の中心で回動するロータリーアーム32と、ロータリーアームのその円弧上に設備された一対のハンドリング装置33、33とを設ける。

請求項（抜粋）：

被検査物に対して検査を実行する検査ステージと、被検査物が検査に対して待機する待機ステージと、検査される被検査物を供給する供給ステージと、検査済の被検査物を収納する収納ステージと、供給ステージから待機ステージにこれから検査される被検査物を移送する供給用移送装置と、待機ステージと検査ステージと間で被検査物を移送する検査用移送装置と、待機ステージから収納ステージに検査済の被検査物を移送する収納用移送装置とを備えている検査装置において、前記待機ステージに間欠回転するターンテーブルが少なくとも4つのステーションを構成するように設備されているとともに、このターンテーブルには被検査物を保持する保持部が少なくとも一対配設されており、前記供給用移送装置と前記収納用移送装置とが同時に移動するように構成されているとともに、供給用移送装置がターンテーブルの供給ステーションに停止した保持部に被検査物を移載する時に、収納用移送装置がターンテーブルの収納ステーションに停止した検査済の被検査物を受け取るように構成されていることを特徴とする検査装置。

IPC (4件)：

G01R 31/26 ,  B65G 29/00 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 電子部品の搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-343538   出願人：株式会社テセック
• 特開昭60-223198