特許

J-GLOBAL ID：200903015068881210

基板搬送装置および真空処理装置

発明者： 吉永 光宏 ,  鈴木 正樹 ,  原口 秀夫 ,  南田 幸▲廣▼
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-098643
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299410
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】 真空処理の生産性向上のため、基板の搬送時間を短縮することが求められている。【解決手段】 基板を移動する上アーム21と下アーム22よりなるダブルアームと、上下のアーム21、22を各々動作する2本のアーム駆動軸23、24と、単一の入力で2本のアーム駆動軸を駆動するアームカムボックス25と、上下のアームを旋回する旋回軸27と、旋回軸27を旋回する旋回カムボックス28とを備え、旋回軸27下端にアームカムボックス25を固定し基板の搬送を行うことで、短時間に基板の搬送を行う。

請求項（抜粋）：

基板を移動する上アームと下アームよりなるダブルアームと、前記上下のアームを各々動作する2本のアーム駆動軸と、単一の入力で前記2本のアーム駆動軸を駆動するアームカムボックスと、前記上下のアームを旋回する旋回軸と、前記旋回軸を旋回する旋回カムボックスとを備えた基板搬送装置において、前記旋回軸下端に前記アームカムボックスを固定し基板の搬送を行うことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 31/04

FI (5件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 15/08 Z ,  B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 D ,  H01L 31/04 Z

Fターム (35件)：

3C007AS01 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007BT10 ,  3C007BT20 ,  3C007CY03 ,  3C007CY27 ,  3C007CY36 ,  3C007EW14 ,  3C007HT02 ,  3C007HT06 ,  3C007HT11 ,  3C007HT21 ,  3C007MT04 ,  3C007NS09 ,  3C007NS12 ,  3C007NS17 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA05 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA50 ,  5F031HA33 ,  5F031LA11 ,  5F031LA13 ,  5F031LA14 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F051CA21

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 真空処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-009225   出願人：松下電器産業株式会社
• 基板移し替え装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-006784   出願人：松下電器産業株式会社
• 搬送装置及び搬送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-210667   出願人：株式会社日立製作所