特許
J-GLOBAL ID:200903015083130493

感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 萩野 平 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-143138
公開番号(公開出願番号):特開平11-338128
出願日: 1998年05月25日
公開日(公表日): 1999年12月10日
要約:
【要約】【課題】可視光に対して透過性が良好で、リブ下部の硬化性が向上し、プロファイル及びリブ形成用ベースとの密着性が良好で、高密度かつアスペクト比が3以上のリブが形成可能な感光性樹脂組成物及びそれを用いたリブ形成法を提供すること。【解決手段】少なくともエチレン性不飽和化合物、増感色素及びラジカル重合開始剤を含有するフォトレジストおよび平均粒子径が0.01〜10μmの無機粒子から少なくともなることを特徴とする感光性樹脂組成物。前記感光性樹脂組成物を層としてプラズマディスプレイ用ベース上に設け、該ベースの裏からの露光処理および該ベースの表からの露光処理を各々少なくとも1回行うことを特徴とするプラズマディスプレイのリブ形成方法
請求項(抜粋):
少なくともエチレン性不飽和化合物、増感色素及びラジカル重合開始剤を含有するフォトレジストおよび平均粒子径が0.01〜10μmの無機粒子から少なくともなることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (7件):
G03F 7/004 501 ,  C08F 2/50 ,  C09K 3/00 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H01J 9/02 ,  H01J 17/49
FI (7件):
G03F 7/004 501 ,  C08F 2/50 ,  C09K 3/00 T ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 17/49 Z

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