特許

J-GLOBAL ID：200903015085414057

圧力センサ

発明者： 山内 重徳 ,  遠藤 昇
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-169158
公開番号（公開出願番号）：特開2001-349797
出願日： 2000年06月06日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】 圧力印加により変形可能なダイヤフラムの歪みに基づいて電気信号を出力するようにした圧力センサにおいて、ダイヤフラム自身の異常を検出可能とする。【解決手段】 圧力センサ100は、ダイヤフラム1aを強制的に歪ませる歪み付与部材としての圧電素子3を備え、この圧電素子3に電圧を印加してダイヤフラム1aを歪ませることにより、歪みゲージ1bからの出力を診断するようになっている。

請求項（抜粋）：

圧力が印加されることにより変形可能なダイヤフラム(1a)と、このダイヤフラムの歪みに基づいて電気信号を出力する検出部(1b)とを備える圧力センサにおいて、前記ダイヤフラムを強制的に歪ませる歪み付与部材(3)を備え、この歪み付与部材によって前記ダイヤフラムを歪ませることにより、前記検出部からの出力を診断するようにしたことを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 27/00 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 27/00 ,  H01L 29/84 B

Fターム (13件)：

2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF45 ,  2F055FF49 ,  2F055GG25 ,  2F055HH01 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA16 ,  4M112DA17