特許

J-GLOBAL ID：200903015091989460

ボンバード装置

発明者： 平野 明彦 ,  渡辺 広之
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-267299
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093145
出願日： 1999年09月21日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 被膜形成体に対するボンバード処理条件の微調整を容易に可能にしたボンバード装置を提供する。【解決手段】 電極カバー31と、電極カバー31を外部から覆う外装カバー32とを有する多重構造のボンバード装置30とし、外装カバー32に、対の走行孔33a,34aとその周囲に走行つば33,34を設け、電極カバー31と、外装カバー32の双方とを連通してガス供給管35を設置し、電極カバー31内に、マグネット電極36を配置し、マグネット電極と電極カバーとを電気的に接続して交流電圧がかけられるようにする。電極カバー31のガス供給管35と対向する位置に、所定の幅を有するスリット37を設け、スリット37を介して、対の走行孔33a,34a間を走行する被膜形成体13をボンバード処理する。

請求項（抜粋）：

被膜形成体を移行させた状態で、該被膜形成体に対してボンバード処理を行うボンバード装置であって、電極カバーと、該電極カバーを外部から覆い、該電極カバーとの間に空間を有する外装カバーとを有し、該外装カバーには、上記被膜形成体を上記外装カバー内を貫通させ、走行させるための一対の走行孔の周囲に走行つばが形成されて成り、上記電極カバーと、上記外装カバーの双方とを連通して、上記電極カバー内に、ボンバードガスを供給するためのガス供給管を有し、上記電極カバー内には、マグネット電極が配置され、該マグネット電極と、上記電極カバーとの間の空間に、放電領域が形成されてなり、上記電極カバーの、上記ガス供給管と対向する位置には、開口幅を変化することができるスリットが形成されてなり、該スリットを介して、上記対の走行孔間を走行する上記被膜形成体をボンバード処理するようになされていることを特徴とするボンバード装置。

Fターム (2件)：

5D112AA02 ,  5D112GA17