ポリイミド前駆体組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-052571
公開番号（公開出願番号）：特開平6-264026
出願日： 1993年03月12日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：

【要約】【構成】下記式〔I〕で示される繰り返し単位を有する重合体および式〔II〕で示される化合物を含む溶媒を含有する組成物。【効果】本発明の組成物により、組成物ワニスを用いてスピンコートする場合に従来問題があった膜均一性及び後退現象を防ぐことが可能となる。

請求項（抜粋）：

下記式〔I〕で示される繰り返し単位を有する重合体および下記式〔II〕で示される化合物を含む溶媒を含有する組成物。(式中のXは(2+n)価の炭素環式または複素環式、Yは(2+m)価の炭素RはOH、OR’または炭素-炭素二重結合を有する基、Wは熱処理により-CORのカルボニル基と反応して環を形成しうる基、nは1または2、mは0、1または2であり、かつCORとZは互いにオルト位またはぺリ位の関係にある。)(R1 、R2 及びR3 はHまたは飽和炭化水素基であり、かつ常温で液体である。)

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