特許
J-GLOBAL ID：200903015093613468
プラズマX線源
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-342046
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169421
出願日： 1993年12月14日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 X線放射特性に優れたプラズマX線源を提供すること、特に、簡便な手段により従来より光輝度のプラズマX線源を提供することを目的とする。【構成】 標的に励起エネルギービームを照射してプラズマ状態を形成し、このプラズマ領域から生成されるX線を取り出すプラズマX線源において、前記プラズマ領域から生じたプラズマ光を反射させて再度プラズマ領域に導く反射部材を備えているもの。前記反射部材が、前記プラズマ領域を中心とする実質的な球面鏡からなるか、反射面にX線反射膜が形成されているもの。
請求項（抜粋）：
標的に励起エネルギービームを照射することでプラズマ状態を形成し、このプラズマ領域から生成されるX線を取り出すプラズマX線源において、前記プラズマ領域から生じたプラズマ光を反射させて再度プラズマ領域に導く反射部材を備えていることを特徴とするプラズマX線源。
IPC (4件)：
H01J 35/00
, G21K 1/00
, G21K 5/02
, H05G 2/00
