特許

J-GLOBAL ID：200903015095577019

自動めっき装置

発明者： 青木 圭治 ,  神 公男 ,  原 眞一 ,  椎名 宏実
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立協和工業株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-084368
公開番号（公開出願番号）：特開平7-292498
出願日： 1994年04月22日
公開日（公表日）： 1995年11月07日
要約：

【要約】【目的】めっき装置の自動処理化及び精密めっき。【構成】ローダ、前処理槽、水洗槽、めっき槽、水洗槽、後処理槽、水洗槽、乾燥槽とアンローダによって構成され前後搬送機によって順次自動処理する。めっき槽は陽極板32、絶縁筒31、窒素気泡発生器35、36により形成されている。被めっき物となる基板と同等の径を持つ絶縁筒31により基板端部への電流集中を防ぎ、、窒素気泡流により液交換を活発にし、その結果膜厚の均一化が図られる。これらの構造物は自動搬送を妨げない。また搬送機とめっき槽の双方から必要に応じ基板に給電し、めっき下地膜のエッチングを防止し精度を向上する。

請求項（抜粋）：

ローダ、めっき槽、水洗槽とアンローダによって構成され、搬送機によって基板を順次運搬してめっきするめっき装置において、めっき槽が陽極板、水槽内の電流経路を規制する絶縁筒、窒素気泡発生器、電極ピンと基板ホルダの保持部より構成され、めっきの対象となる基板は予めホルダに固定し運搬されることを特徴とするめっき装置。

IPC (4件)：

C25D 17/00 ,  C25D 17/08 ,  C25D 17/10 ,  C25D 21/10 301