特許

J-GLOBAL ID：200903015098545746

顕微鏡装置

発明者： 大内 由美子 ,  鈴木 章夫 ,  岩崎 豊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 特許業務法人オカダ・フシミ・ヒラノ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-020402
公開番号（公開出願番号）：特開2007-199572
出願日： 2006年01月30日
公開日（公表日）： 2007年08月09日
要約：

【課題】高速な観察が可能な顕微鏡装置を提供する。【解決手段】回折格子51がSLMで構成され、回折格子51を移動させる駆動部を有しない。SLMの各画素を透明にしたり、不透明にしたり、さらには透明度を変化させることができるので、これを利用して格子パターンを形成することにより、透過型回折格子として用いることができる。各画素は、縦横方向2次元に配列されているので、例えば縦縞模様の格子パターンを形成し、かつ、その格子線の位置を横方向に移動させることにより、格子パターンの空間位相を変化させることができる。格子線の方向も、ある程度任意の方向に形成することができ、しかも、その格子線の位置を、格子線の線の方向と直角な方向に移動させることができる。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

光路中に置かれた回折格子の像を被観察物の表面に結像させて照明を行う照明光学系と、前記照明光学系により照明された前記被観察物の像を、前記回折格子上に中間像として結像させる結像光学系と、前記中間像の像を形成するリレー光学系とを備えた顕微鏡装置であって、前記回折格子がSLM(Spatial Light Modulator)又はDMD(Digital Micro-mirror Device)で構成され、格子パターンが変更可能とされていることを特徴とする顕微鏡装置。

IPC (4件)：

G02B 21/06 ,  G02B 21/36 ,  G02B 5/18 ,  G02B 26/08

FI (4件)：

G02B21/06 ,  G02B21/36 ,  G02B5/18 ,  G02B26/08 E

Fターム (12件)：

2H041AA13 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H049AA02 ,  2H049AA12 ,  2H049AA55 ,  2H049AA68 ,  2H052AB01 ,  2H052AC01 ,  2H052AC04 ,  2H052AF14 ,  2H052AF25

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 像形成法、像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-111644   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 米国再発行特許発明第38307号明細書