特許

J-GLOBAL ID：200903015101703951

ウェーハ保持具

発明者： 佐藤 崇之 ,  堂園 光彦 ,  篠原 信行 ,  長谷川 清
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社 ,  国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-157706
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335434
出願日： 1997年05月30日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】ウェーハ保持具製作時の作業者の負担を軽減すると共に製作コストの低減を図る。【解決手段】ベース12より立設する支柱13をウェーハ支持プレート16に嵌入させ、該ウェーハ支持プレートを多段に積重ねたウェーハ保持具に係り、ウェーハ保持具は全て組立て式であり、構成部材が損傷した場合には、損傷した部位のみを交換することができる。

請求項（抜粋）：

ベースより立設する支柱をウェーハ支持プレートに嵌入させ、該ウェーハ支持プレートを多段に積重ねたことを特徴とするウェーハ保持具。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/205

FI (4件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/22 511 G ,  H01L 21/31 F ,  H01L 21/205