特許

J-GLOBAL ID：200903015105320836

光学素子測定装置

発明者： 小川 邦彦
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-246603
公開番号（公開出願番号）：特開2000-074784
出願日： 1998年09月01日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】 光学素子14のソケット3への入れ替えを、暗室下での測定と並行して行うことができるようにし、以て測定能率を高め、生産性の向上を図る。【解決手段】 回転板1に光学素子用ソケット3を複数互いに独立して垂直方向に移動可能に設け、回転板1上方に、暗室形成手段(筒)10を有する光学系9を設け、光学系9と回転板1を挟んで対向する位置にソケット3の端子とコンタクト可能な配線6を有し、テスターに電気的に接続される中継手段(測定基板)11を設けてなり、測定時に、光学素子14が装着されたソケット3の各端子7に中継手段11の各配線をコンタクトさせると共に、光学系9を暗室形成手段10を介してソケット3と接触状態にして光学素子14が存在する暗室が形成されるようにし、その状態で光学的測定を為し得るようにする。

請求項（抜粋）：

光学素子用ソケットが複数個配設されたソケット取付板と、上記ソケット取付板の一部分上に、上記ソケットに装着された光学素子に対して所定の光を照射する或いは該光学素子からの光又は光による像を撮像する光学系と、上記光学系に取り付けられた暗室形成手段と、上記光学系と上記ソケット取付板を挟んで対向する位置に設けられ、上記ソケットの端子とコンタクト可能な配線を有し、テスターに電気的に接続される中継手段と、を少なくとも備え、上記ソケット取付板は上記光学系及び中継手段に対して相対的に回転乃至移動することにより該光学系・中継手段間に位置する光学素子用ソケットを切り替えることができるようにされ、光学的測定時に、光学素子が装着された上記光学素子用ソケットの各端子に中継手段の各配線をコンタクトさせると共に、上記光学系を上記暗室形成手段を介して該ソケットと接触状態にして該光学素子が存在する暗室が形成されるようにし、その暗室が形成された状態で光学的測定を為し得るようにしたことを特徴とする光学素子測定装置。

IPC (3件)：

G01M 11/00 ,  H01L 23/32 ,  G02B 7/00

FI (3件)：

G01M 11/00 Z ,  H01L 23/32 B ,  G02B 7/00 F

Fターム (4件)：

2H043AA03 ,  2H043AA25 ,  2H043AB35 ,  2H043AE00