特許
J-GLOBAL ID：200903015106840159
パターン照射システムにおいてグレー・スプライスを行う方法およびシステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
頓宮 孝一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-012209
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013298
出願日： 1993年01月28日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】【目的】 電子ビーム照射装置に用いる、グレーイングを行うための方法を提供する。【構成】 この方法では、所望のパターンを形成する、サブフィールド・オーバーラップ・ゾーン内に在る長方形を、セクションに細分化し、サブフィールド・オーバーラップ・ゾーンの各セクションを調べて、グレーイングを行うための最良の候補を確定する。それにより、過剰照射によるブルーミングを避けることができ、かつ照射が不連続となる可能性を最小にできる。各セクション内の長方形の部分を表現するグレー・テーブル・リストと呼ばれるデータ構造を用いる。各長方形の処理規模を最小とし、長方形のグループを連鎖として処理し、システムのスループットを高める。グレーイングを行う照射スポットの数を最小とすることにより電子ビーム照射装置を最適効率で動作させる。
請求項（抜粋）：
パターン照射システムにおいて、描画領域をサブフィールドに分割し、所望のパターンを重なりの無い複数の長方形により表してグレー・スプライスを行う方法であって、前記長方形のうち、サブフィールド・オーバーラップ・ゾーンに全体または部分が含まれている前記長方形を確定するステップと、前記サブフィールド・オーバーラップ・ゾーンをセクションに分割するステップと、前記サブフィールド・オーバーラップ・ゾーン内に在る前記長方形の部分を形成するのに必要な照射スポットの数を少なくとも確定するために前記セクションを調査するステップと、前記調査ステップにもとづいて1つのセクションを選択するステップと、前記セクション内の少なくとも1つの前記照射スポットに対してグレーイングを行うステップとを含むことを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 341 M
, H01L 21/30 341 E
