水素検出子及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳澤孝成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-045184
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236547
出願日： 1996年03月01日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】都市ガスのように水素と他の可燃性ガスが混在し且つ酸素を実質的に含まないガス中の水素を、低濃度域まで定量的に高感度で検知でき、しかも高応答性を具備した光学的水素検出子並びにその製造方法を提供する。【解決手段】透明基板12の表面又は表裏両面を連続的に被覆する水素化触媒金属の薄膜11を蒸着法、スパッタリング法または浸漬法により形成し、基板12を被覆したこの薄膜11を可視光線又は赤外線の進行方向に対して複数個重ね、かつ夫々の薄膜11を検知対象ガス8中の水素が流通できる空間13に露出するように設けて水素検出子を構成する。

請求項（抜粋）：

水素を吸着し解離する触媒金属の薄膜(ア)により透明基板(イ)を被覆してなる水素検出子において、上記薄膜(ア)が可視光線または赤外線を透過できる膜厚を持ち、上記薄膜(ア)が連続膜として上記基板(イ)を被覆し、上記基板(イ)を被覆した複数個の上記薄膜(ア)を可視光線または赤外線の進行方向に対して重ね、かつ上記薄膜(ア)をそれぞれ水素が流通できる空間に露出するように設けたことを特徴とする光学的水素検出子。

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