特許
J-GLOBAL ID:200903015109354581
超音波振動子セル、超音波振動子エレメント、超音波振動子アレイ及び超音波診断装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊藤 進
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-263695
公開番号(公開出願番号):特開2008-118631
出願日: 2007年10月09日
公開日(公表日): 2008年05月22日
要約:
【課題】DCバイアスを低減させつつ十分な音圧の超音波を送受信することが可能な超音波振動子セル、超音波振動子エレメント、超音波振動子アレイ及び超音波診断装置を提供する。【解決手段】本発明の超音波振動子セルは、基板と、前記基板上に配設された電荷保持部と、前記電荷保持部上に配設され、信号の入出力に使われる下部電極と、前記下部電極上に空隙部を隔てて配設され、絶縁膜および前記絶縁膜上に配置された上部電極を少なくとも含む振動膜と、を具備することを特徴とする。【選択図】図6
請求項(抜粋):
基板と、
前記基板上に配設された電荷保持部と、
前記電荷保持部上に配設され、信号の入出力に使われる下部電極と、
前記下部電極上に空隙部を隔てて配設され、絶縁膜および前記絶縁膜上に配置された上部電極を少なくとも含む振動膜と、
を具備することを特徴とする超音波振動子セル。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (16件):
4C601BB03
, 4C601BB07
, 4C601BB23
, 4C601BB24
, 4C601EE10
, 4C601EE18
, 4C601FE02
, 4C601GB02
, 4C601GB06
, 4C601GB10
, 4C601GB19
, 4C601GB41
, 4C601GB43
, 4C601GB46
, 5D019AA23
, 5D019DD01
引用特許:
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