特許

J-GLOBAL ID：200903015115621680

基板の液切り装置

発明者： 鈴木 聡 ,  芳谷 光明 ,  松村 吉雄 ,  秋田 恭宏 ,  山本 広
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-126552
公開番号（公開出願番号）：特開平9-094546
出願日： 1996年04月22日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【課題】 気体噴射手段により気体が基板の表面に吹き付けられて、基板の表面に付着した処理液が飛散することにより発生するミストが、液切り処理を終えた基板の表面に付着することを防止する。【解決手段】 基板(4)をその表面に沿った所定の搬送方向に搬送する複数個の搬送ローラ(8)と、これらにより搬送される基板(4)の表面に向けて気体を噴射する第1噴射口(23a)を有する第1エアーナイフ(2)と、液切りエアチャンバー(9)の内部を、ミスト(7)が浮遊する第1空間(S1)と第2空間(S2)とに分離する仕切部材(1a)とを備える。

請求項（抜粋）：

湿式表面処理が施された基板の主面に付着した所定の処理液を基板の主面から除去する基板の液切り装置において、基板をほぼ水平に保持しつつその表面に沿った方向に搬送する搬送手段と、前記搬送手段によって搬送される基板の上側の主面である第1主面に向けて気体を噴射する第1噴射口を備えた第1気体噴射手段と、前記基板が搬入される搬入口及び基板が搬出される搬出口を有するとともに、基板の主面から除去された前記処理液が周囲に飛散することを防止する略箱形の液切りチャンバーと、前記基板の第1主面側において、前記第1噴射口から見て基板の搬送方向の上手側の第1空間と前記第1噴射口から見て前記搬送方向の下手側の第2空間とを分離するように、その上端部が前記液切りチャンバーの上壁又は後方壁若しくは前方壁のいずれかに当接するとともに、前記搬送方向と平行な液切りチャンバーの両側壁間にわたって設けられた第1仕切部材と、を備えたことを特徴とする基板の液切り装置。

IPC (2件)：

B08B 5/02 ,  H01L 21/304 361

FI (2件)：

B08B 5/02 Z ,  H01L 21/304 361 H