特許
J-GLOBAL ID：200903015124174301
プラズマ重合装置における高周波電源整合装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-008735
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151091
出願日： 1992年01月21日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 インピーダンスを円滑にかつ確実に整合させることができ、ノイズの発生等の不具合を防止することができる上に、整合器を単純化及び小型化することができ、装置全体をコンパクト化することができるプラズマ重合装置における高周波電源整合装置を提供することを目的とする。【構成】 相互リアクトルLMによって測定された反射波成分の電流に応じて、制御機構Sの通電加熱型形状記憶合金製アクチュエータ(ワイヤ)SMWによって可変型コンデンサVCの静電容量を増加方向のみに制御することにより、電極負荷インピーダンスと高周波電源の出力インピーダンスとを整合させる。
請求項（抜粋）：
高周波電源と電極の間に整合器が設けられ、この整合器によって、重合時の電極負荷インピーダンスと高周波電源の出力インピーダンスとを整合させるプラズマ重合装置における高周波電源整合装置であって、上記重合時の電極負荷インピーダンスを測定しておき、測定値に応じて限定された調整範囲をもち、かつ重合時のインピーダンス変化に応じて静電容量を増加方向のみに制御する静電容量制御手段とから構成されたことを特徴とするプラズマ重合装置における高周波電源整合装置。
IPC (2件)：
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