特許

J-GLOBAL ID：200903015128648421

反射率測定センサの検査方法

発明者： 鈴木 康仁 ,  辻 寿彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-207424
公開番号（公開出願番号）：特開平11-037895
出願日： 1997年07月17日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】量産品の製造過程においてやむを得ず確率的に発生する反射率測定センサの断線等を検査することにより、露光装置の信頼性を向上させることのできる、反射率測定センサの検査方法を提供する。【解決手段】水銀ランプ1からウエハWに至るまでの光路中に存在する光学部材3,9を介して、水銀ランプ1からウエハWに到達する照射光の光量が、通常の露光時における照射光の光量よりも大きくなるような状態に、光学部材3,9を設定するステップと、照射光を反射する部分がフィデュシャルマークになるような位置に、ウエハステージ20を移動させるステップと、反射光を反射率測定センサ41により測定するステップと、反射率測定センサ41からの出力に基づき、反射率測定センサ41の不具合を判断するステップとを備えるので、反射率測定センサ41を露光装置から取り外すことなく、水銀ランプ1から照射された照射光に基づいて、その検査を行うことができ、それにより検査の迅速化や簡便化を図ることができる。

請求項（抜粋）：

光源からの照射光を投影レンズを介して被照射部材に照射し、前記被照射部材からの反射光を前記投影レンズを介して受光する、露光装置に用いる反射率測定センサの検査方法において、前記光源から前記被照射部材に至るまでの光路中に存在する光学部材を介して、前記光源から前記被照射部材に到達する照射光の光量が、通常の露光時における照射光の光量よりも大きくなるような状態に、前記光学部材を設定するステップと、前記照射光を反射する部分が前記被照射部材のうち高反射率を有する部分になるような位置に、前記被照射部材を移動させるステップと、前記反射光を前記反射率測定センサにより測定するステップと、前記反射率測定センサからの出力に基づき、前記反射率測定センサの不具合を判断するステップとを備えることを特徴とする反射率測定センサの検査方法。

IPC (3件)：

G01M 11/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G01M 11/00 T ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 Z