特許

J-GLOBAL ID：200903015131585856

撮像装置

発明者： 広野 勝
出願人/特許権者： 日立電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-281833
公開番号（公開出願番号）：特開平7-113613
出願日： 1993年10月15日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：

【要約】【目的】 光ビームを利用した微小寸法測定装置において,高速走査が実現でき,かつ完全共焦効果が可能の撮像装置を提供する。【構成】 光ビームを発生する光源1,発生した光ビームを主走査方向に偏向する偏向手段4,またこれと直交する副走査方向に偏向する偏向手段5,集光する対物レンズ6,画素単位で電荷の蓄積を制御できる電子シャッタと光電素子の組合せからなるエリアセンサ8を備え,光ビームの走査により蓄積された電荷を所定の周波数で読出し出力する。

請求項（抜粋）：

光ビームを照射する光源と,この光源から発する光ビームを所定の走査周波数で主走査方向に偏向する第1の偏向手段と,この第1の偏向手段の直後に配置され,光ビームを主走査方向と直交する副走査方向に偏向して試料上に照射する第2の偏向手段と,試料からの反射光束を集光する対物レンズと,電子シャッターを備え画素単位に電荷の蓄積を制御できるエリアセンサとを配置し,対物レンズから発する光束を上記エリアセンサで受光して電荷を蓄積し所定の読出し周波数で走査し光電出力信号を出力することを特徴とする撮像装置。