特許

J-GLOBAL ID：200903015136485507

半導体試験装置用リレー制御回路

発明者： 蛯谷 公一
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-235369
公開番号（公開出願番号）：特開平10-082822
出願日： 1996年09月05日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：

【要約】【課題】 被測定デバイスと測定ユニットとの間を接続する測定経路を切り替える前段リレーの動作回数を低減したリレー制御回路を提供する。【解決手段】 被測定デバイスDUTの入出力電流電圧特性を測定する測定ユニットDCと被測定デバイスDUTの間の測定経路を、測定ユニットを切り替える複数の前段リレー1、4、6、7と被測定デバイスDUTの端子ピンP1、P2、P3を切り替える複数の後段リレー2、3、5とにより切り替える半導体試験装置用リレー制御回路において、複数の前段リレーの各々に対して複数の後段リレーがそれぞれ直列接続しており、後段リレーのON動作に対応して前段リレーのOFF動作を、後段リレーの所定回数のON/OFF動作の間、禁止する禁止回路を具備する半導体試験装置用リレー制御回路。

請求項（抜粋）：

被測定デバイスの入出力電流電圧特性を測定する測定ユニットと被測定デバイスの間の測定経路を、測定ユニットを切り替える複数の前段リレーと被測定デバイスの端子ピンを切り替える複数の後段リレーとにより切り替える半導体試験装置用リレー制御回路において、複数の前段リレーの各々に対して複数の後段リレーがそれぞれ直列接続しており、後段リレーのON動作に対応して前段リレーのOFF動作を、後段リレーの所定回数のON/OFF動作の間、禁止する禁止回路を具備することを特徴とする半導体試験装置用リレー制御回路。

IPC (2件)：

G01R 31/26 ,  G01R 31/28

FI (2件)：

G01R 31/26 G ,  G01R 31/28 M