マイクロアトマイザーの駆動部品および該アトマイザーの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森下武一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-516676
公開番号（公開出願番号）：特表2003-507168
出願日： 2000年08月10日
公開日（公表日）： 2003年02月25日
要約：

【要約】圧電的に駆動されるマイクロアトマイザーの駆動部品は、半導体基板(10)に形成されるダイヤフラム(12)、該ダイヤフラム(12)の面上に配置される圧電性駆動体、半導体基板に形成されていて、ダイヤフラムを振動させることによりアトマイズされるべき液体を流入口の端から圧電性駆動体の反対側に位置しているダイヤフラム面まで供給するために使用される搬送手段(14)から構成されている。このような駆動部品が使用されるマイクロアトマイザーは、駆動部品が取り付けられるホルダーを備え、駆動部品の流入口の端が流体供給導管と流体的に接続され、前記搬送手段と流体供給導管及び前記搬送手段と圧電性駆動体の反対側に位置するダイヤフラム面との間に存在する流体的な接続部を除いて搬送手段がホルダーによって密封され、また、アトマイズされた液体を排出するために使用される前記ホルダーの開口部が圧電性駆動体の反対側に位置するダイヤフラム面の領域に設けられている。

請求項（抜粋）：

圧電的に駆動される波動理論によるマイクロ駆動部品において、半導体基板(10)に形成されたダイヤフラム(12,36)と、前記ダイヤフラム(12,36)を振動させるためにダイヤフラム(12,36)の面に配置された圧電性駆動体(52)と、前記半導体基板(10)に形成され、流入口の端から前記圧電性駆動体(52)の反対側に位置するダイヤフラム面までアトマイズされるべき液体を供給するために使用される搬送手段(14,34)と、を備え、前記ダイヤフラム(12,36)を振動させることで、ダイヤフラムの面に供給される液体は波動理論を基にアトマイズされ、前記ダイヤフラムとは向かい合って配置されている流出口(30)を通して排出される。

IPC (6件)：

B06B 1/06 , B05B 17/06 , B81B 3/00 , H01L 41/09 , H01L 41/187 , H01L 41/22

FI (7件)：

B06B 1/06 Z , B05B 17/06 , B81B 3/00 , H01L 41/08 U , H01L 41/22 Z , H01L 41/18 101 B , H01L 41/18 101 D

Fターム (12件)：

4D074AA01 , 4D074AA02 , 4D074AA03 , 4D074DD08 , 4D074DD22 , 4D074DD32 , 4D074DD55 , 4D074DD70 , 5D107AA03 , 5D107BB02 , 5D107CC02 , 5D107FF09

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開平4-063973

審査官引用 (1件)

特開平4-063973

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