特許

J-GLOBAL ID：200903015150849007

ITO焼結体、ターゲット、蒸着用ペレット、それらを用いて形成した膜および表示素子

発明者： 新田 晃久 ,  石上 隆 ,  八木 典章 ,  菊池 誠
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-334036
公開番号（公開出願番号）：特開平7-187769
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：

【要約】【構成】インジウム、錫および酸素を主成分としてなり、炭素、窒素、ホウ素から選ばれた元素を少なくとも一種添加したことを特徴とするITO膜。【効果】微細加工性を有するITO膜を用いることにより、液晶ディスプレイの大型化ならびに高精細化に対応した表示素子を提供することができる。

請求項（抜粋）：

インジウム、錫および酸素を主成分としてなり、炭素、窒素、ホウ素から選ばれた元素を少なくとも一種添加したことを特徴とするITO焼結体。

IPC (6件)：

C04B 35/457 ,  C01G 19/00 ,  C04B 35/495 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/34

FI (2件)：

C04B 35/00 R ,  C04B 35/00 J