特許
J-GLOBAL ID：200903015155071624
エツチング終点判定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-280556
公開番号（公開出願番号）：特開平5-094973
出願日： 1991年10月01日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：
【要約】【目的】 プラズマエッチングの終点を正確に判定する。【構成】 反応チャンバー1の外部にはチャンバー1内のエッチング反応に関与する2種類のスペクトル強度を検出するためのセンサ2a,2bを配置し、これらセンサ2a,2bによって検出された値は電圧に変換され、アンプ3a,3b及びA/Dコンバータ4a,4bを介して回路5に入り、この回路5で合成計算されて合成波形となり、また合成波形は回路6で1次微分され、更に回路7で2次微分され、エッチング対象物やエッチング条件などに応じ、回路8で合成波形、1次微分波形或いは2次微分波形に基づいてエッチング終点を判定する。
請求項（抜粋）：
試料をセットしたチャンバー内に反応ガスを導入して試料表面に形成した膜をエッチングするにあたり、当該エッチングの終点を判定する方法において、この方法はエッチング反応に関与する複数のスペクトルの合成波形に基づいてエッチングの終点を判定するようにしたことを特徴とするエッチング終点判定方法。
引用特許：
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