特許
J-GLOBAL ID：200903015155274517
極低温でのガス状ヘリウムの汲み上げ方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-235952
公開番号（公開出願番号）：特開平8-074772
出願日： 1995年08月23日
公開日（公表日）： 1996年03月19日
要約：
【要約】【課題】 入力ガス流量に関係なく、その必須の特性が適切な汲み上げ流量を呈する容積形ポンプによりガスを低温で汲み上げる極低温でのガス状ヘリウムの汲み上げ方法及び装置を提供することにある。【解決手段】 螺旋固定部分およびこれとともに供給体積を画成するために前記固定部分に対して回転する螺旋可動部分からなり、前記供給体積内にヘリウムが引き付けられかつポンプから出る前の前記体積の減少により圧縮され、前記固定部分および前記可動部分が摩擦を回避する中間クリヤランスおよびポンプ冷却機構により構成される汲み上げ装置。
請求項（抜粋）：
容積形ポンプにより極低温でガス状ヘリウムを汲み上げる極低温でのガス状ヘリウムの汲み上げ方法において、前記容積形ポンプが螺旋固定部分(37,38,39,40)およびこれとともに供給体積を画成するために前記固定部分に対して回転する螺旋可動部分(35,36)からなり、前記供給体積内にヘリウムが引き付けられかつポンプから出る前に前記堆積の減少により圧縮され、前記固定部分および前記可動部分が摩擦を回避する中間クリヤランスおよびポンプ冷却機構(41,42)を具備することを特徴とする極低温でのガス状ヘリウムの汲み上げ方法。
IPC (4件)：
F04C 29/04
, C01B 23/00
, F04C 29/00
, F04C 18/02 311
