特許
J-GLOBAL ID：200903015156704795
CVD装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-194755
公開番号（公開出願番号）：特開平10-036971
出願日： 1996年07月24日
公開日（公表日）： 1998年02月10日
要約：
【要約】【課題】 光学用薄膜を所望の光学膜厚に精度良く制御できるCVD装置を提供する。【解決手段】 透明な筒体3の両端開口が蓋4,5で閉成され、内部に「基板」としてのレンズ10がセットされる反応容器2と、該反応容器2の外側に配設されて前記筒体3を介して前記レンズ10を加熱するヒーター1とを有し、前記レンズ10に光学用薄膜を形成するCVD装置において、前記筒体3の内壁面3aに析出した薄膜に、該筒体3の外側から測定光を照射してこの反射光を検出し、該反射光の光強度を計測することにより前記薄膜の所望の膜厚を検出する光学式膜厚測定装置17を設けた。
請求項（抜粋）：
透明な筒体の両端開口が蓋で閉成され、内部に基板がセットされる反応容器と、該反応容器の外側に配設されて前記筒体を介して前記基板を加熱するヒーターとを有し、前記基板に光学用薄膜を形成するCVD装置において、前記筒体の内壁面に析出した薄膜に、該筒体の外側から測定光を照射してこの反射光を検出し、該反射光の光強度を計測することにより前記薄膜の所望の膜厚を検出する光学式膜厚測定装置を設けたことを特徴とするCVD装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 16/44 Z
, G01B 11/06 Z
