特許
J-GLOBAL ID：200903015161355073
ガラス基板洗浄保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八木田 茂 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-045108
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258608
出願日： 1993年03月05日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 残渣のないより精密なガラス基板の洗浄をするための洗浄保持装置を提供すること。【構成】 長手方向の複数個所にガラス基板12を保持するためのV形溝を形成した洗浄シャフト11を、3本、逆三角形状に配置し、両端部を側板13によって固定している。上記の洗浄シャフト11の溝部に乗せてガラス基板12を保持した状態で、ガラス基板11の上下両端面を角度θ傾けている。上記洗浄シャフト11の溝には、多段角度の段部が形成されている。【効果】 傾けて保持されたガラス基板11を洗浄液又は蒸気槽に浸漬し、引き上げた後のガラス基板端面部に付着した洗浄液は、傾いた端面に沿って流れ易くなり、付着量が減少するので、高品質の洗浄が可能になる。
請求項（抜粋）：
ガラス基板を精密ウエット洗浄する際に使用する洗浄保持装置において、ガラス基板を保持する洗浄シャフトを、ガラス基板の上下端面を傾けて保持するように、ガラス基板の端面の複数個所に当接して配置したことを特徴とするガラス基板洗浄保持装置。
IPC (3件)：
G02F 1/13 101
, B08B 11/02
, G03F 1/08
