加速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小杉佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-155208
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346866
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】静電容量の変化により加速度を検出する加速度センサに関し、信頼性を向上させる。【解決手段】可動電極14が、中央に固定部142を有するとともに、その固定部142の周囲に可動部143を有し、また、固定部142と可動部143との間に溝孔部分144aを持つ3つの円弧状の溝孔144を有し、さらに3つの円弧状の溝孔144のうちの互いに隣接する溝孔144の互いに隣接する端部144bからさらに、互いに近接して可動部143内を弧状に互いに平行に延びる溝孔145を有する可動電極14を備えた。

請求項（抜粋）：

互いに平行に広がる、固定電極と加速度に応じて該固定電極に接離する方向に動く可動電極とを備え、これら固定電極と可動電極との間の静電容量の変化を検出することにより加速度を検出する加速度センサにおいて、前記可動電極が、前記固定電極との間に所定間隔を隔てた状態に固定される固定部を中央に有するとともに、該固定部の周囲に、加速度に応じて、該固定部に対し相対的に、前記固定電極に接離する方向に動く可動部を有し、さらに前記固定部と前記可動部との間に、前記固定部を全体として円形に取り巻く複数の円弧状の溝孔を有し、該溝孔が、該溝孔を構成する円弧から一旦放射方向にずれた後に該円弧に復帰する形状の溝孔部分を有することを特徴とする加速度センサ。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-032775
特表平6-508439
特開平4-032775

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