特許

J-GLOBAL ID：200903015176183074

コンフォーカル顕微鏡

発明者： 熊谷 悟 ,  村山 徳雄
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-168213
公開番号（公開出願番号）：特開平5-341192
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】 広い視野に渡って、優れた光学的切断機能と良好な横方向分解能が得られるとともに、波長の異なる複数の励起光又は検出光を扱う定量測定の精度を向上させることのできるコンフォーカル顕微鏡を提供する。【構成】 走査ミラー5,6からの波長λe の励起光はダイクロイックミラー7を透過して走査光学系8、ダイクロイックミラー12を経て対物光学系(瞳投影レンズ14,対物レンズ15)に進み試料面16にスポットを結ぶ。試料から発光された波長λf1,λf2の蛍光はダイクロイックミラー12で分岐され、波長λf1の光は走査光学系8を通り、波長λf2の光は走査光学系11を通り、2つの光はダイクロイックミラー7で再び合成される。波長λe ,λf1での倍率色収差は対物光学系と走査光学系8の合成系で、波長λf2での倍率色収差は対物光学系と走査光学系11の合成系で補正される。

請求項（抜粋）：

励起光を試料上に集光する対物光学系と、前記励起光で前記試料表面を走査するための走査手段とを有し、前記試料から発せられ、前記対物光学系を通過した検出光を検出するコンフォーカル顕微鏡において、前記対物光学系と前記走査手段との間に設けられ、それぞれ異なる波長域での前記対物光学系の倍率色収差を補正する複数の補正光学系と、前記走査手段と前記補正光学系との間に配置され、前記走査手段からの光を波長によって分岐する第1分岐手段と、前記対物光学系と前記補正光学系との間に配置され、前記対物光学系からの光を波長によって分岐する第2分岐手段とを備え、前記複数の補光学系を含む中間光学系によって前記対物光学系の前記励起光波長及び前記検出光波長における倍率色収差を補正することを特徴とするコンフォーカル顕微鏡。