特許
J-GLOBAL ID：200903015184133035

プレーナ型電磁アクチュエータ

発明者：
上田 譲

上田 譲 について


出願人/特許権者：
日本信号株式会社

日本信号株式会社 について


代理人 (1件)： 笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-345310
公開番号（公開出願番号）：特開2003-153519
出願日： 2001年11月09日
公開日（公表日）： 2003年05月23日
要約：
【要約】【課題】 電気信号を用いることにより、磁界発生手段に挟まれた半導体基板の可動部を自在に揺動し得るプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、上記可動部に設けられた駆動コイルに与える磁界を確保し、装置全体の部品点数を減らす。【解決手段】 下部基部材11上に、駆動コイル4を備えた可動部3が揺動可能に形成された半導体基板5と、それを挟んで対向配置され上記駆動コイル4に磁界Hを与える磁界発生手段6a,6bと、その周囲に配置された磁路形成手段7とを備えてなるプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、上記下部基部材11の表面に半導体基板5を直接載置し、上記駆動コイル4を含む面に、上記磁界発生手段6a,6bの中心面を一致又は接近させて配置した。これにより、上記駆動コイル4に与える磁界Hを確保し、また装置全体の部品点数を減らして製造工程の効率化を図ることができる。
請求項（抜粋）：
支持部材上に、駆動コイルを備えた可動部が揺動可能に形成された半導体基板と、この半導体基板を挟んで対向配置され上記駆動コイルに磁界を与える磁界発生手段と、この磁界発生手段の周囲に配置された磁路形成手段とを備えてなるプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、上記支持部材の表面に上記半導体基板を直接載置し、この半導体基板の駆動コイルを含む面に、上記磁界発生手段の中心面を一致又は接近させるように該磁界発生手段を配置したことを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。
IPC (2件)：
H02K 33/18 ,  B81B 3/00
FI (2件)：
H02K 33/18 Z ,  B81B 3/00
Fターム (6件)：
5H633BB02 ,  5H633BB18 ,  5H633GG03 ,  5H633HH02 ,  5H633JA02 ,  5H633JB04
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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