特許

J-GLOBAL ID：200903015185216678

投影露光装置、データ変換装置およびデータ変換プログラムを記録した記録媒体

発明者： 杉本 宗毅 ,  前田 浩二
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-132000
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323393
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】先行ウェハの評価結果をフィードバックして本露光条件の較正を行う際に、オペレータによる入力データの変換が不要な投影露光装置を提供する。【解決手段】投影露光装置1とは別体に設けられて、前記露光装置1の性能を評価する評価装置3a,3bが出力する評価パラメータを前記露光装置1へ入力するに際して、前記投影露光装置1に、入力データの形式を認識する認識手段と、前記認識手段によって認識された形式の入力データを所定のデータ形式に変換する変換手段とを設けた。

請求項（抜粋）：

入力データの形式を認識する認識手段と、前記認識手段によって認識された形式の入力データを所定のデータ形式に変換する変換手段とを有することを特徴とする投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22 ,  G03F 9/00

FI (3件)：

H01L 21/30 502 G ,  G03F 7/22 H ,  G03F 9/00 H

Fターム (2件)：

5F046AA17 ,  5F046AA28

引用特許：

審査官引用 (1件)

• デバイス製造支援装置、及び製造ラインの支援装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-173679   出願人：株式会社ニコン