特許
J-GLOBAL ID：200903015187585956
感光性樹脂組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩見谷 周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-026196
公開番号（公開出願番号）：特開平7-248626
出願日： 1995年01月20日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：
【要約】【構成】 特定のポリイミド樹脂前駆体、下記式:【化1】(式中、R2 は炭素原子数1〜50の有機基であり、i及びjはそれぞれ1〜7の整数である。)で表される感光性ジアゾキノン化合物及びフェノールノボラック樹脂を含有してなる感光性樹脂組成物。該組成物を基板上に塗布し、乾燥し、形成された塗膜を露光し、アルカリ現像し、得られたパターン化されたポリイミド皮膜を硬化させることからなるパターン化されたポリイミド皮膜の形成方法。【効果】 アルカリ性水溶液で現像可能であり、現像による膜減りが少なく感度が良好な耐熱性の皮膜を与える。従って、電子部品用保護膜等として有用である。
請求項（抜粋）：
(A) 下記一般式(1) :【化1】〔式中、複数のRは同一でも異なってもよく、下記一般式(2) :【化2】(式中、複数のR1 は同一でも異なってもよく、-H又は炭素原子数1〜8の1価の有機基である。)で表されるシリル基であり、Xは4価の有機基であり、Yは2価の有機基であり、mは5〜80の整数である。〕で表されるポリイミド樹脂前駆体、(B) 下記一般式(3) :【化3】(式中、R2 は炭素原子数1〜50の有機基であり、iは1〜7の整数である。)で表される感光性ジアゾキノン化合物、下記一般式(4) :【化4】(式中、R2 は前記のとおりであり、jは1〜7の整数である。)で表される感光性ジアゾキノン化合物、又はそれらの組み合わせ、及び(C) 下記一般式(5) :【化5】(式中、R3 は-H又は炭素原子数1〜6の有機基であり、nは2〜100 の整数である。)で表されるフェノールノボラック樹脂を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (13件)：
G03F 7/037 501
, C08K 5/41
, C08L 79/08 LRC
, G02F 1/1337 525
, G03F 7/023 501
, G03F 7/023 511
, G03F 7/075 511
, G03F 7/40 501
, H01L 21/027
, H01L 21/312
, H01L 23/29
, H01L 23/31
, H05K 3/28
H01L 21/30 502 P
, H01L 23/30 C
