特許
J-GLOBAL ID：200903015196235194
基板搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-311139
公開番号（公開出願番号）：特開平6-143177
出願日： 1992年10月28日
公開日（公表日）： 1994年05月24日
要約：
【要約】【目的】 構造簡単かつ小型にして、大型化基板の搬送を円滑に行うと共に、基板の汚染防止及び歩留りの向上を図る。【構成】 装置本体12に基板Gを収容するキャリアカセット2,3に対して進退移動するピンセット14を設けると共に、キャリアカセット2内に収容された基板Gをキャリアカセット2内中央位置へ移動修正する中央位置決め機構20、キャリアカセット2から取り出された基板Gを搬送位置へ修正する予備位置決め機構30、基板Gの中心位置を修正するセンタリング機構40及び基板Gを中心位置決め位置及び受け渡し待機位置へ移動する基板昇降機構50とを設ける。これにより、装置全体を小型にしてスペースの有効利用を図ることができる。また、キャリアカセット2,3に対する基板Gの出入れを円滑にすることができると共に、基板へのパーティクルの付着を防止することができる。更に、基板を所定の位置に正確に位置決めすることができ、基板の搬送の円滑化を図ることができる。
請求項（抜粋）：
未処理の基板を収容する容器から基板を取り出し、その基板を処理部側に受け渡した後、処理済みの基板を容器内に搬送する基板搬送装置において、上記容器内に収容された容器を容器中央位置へ位置決めする中央位置決め機構と、上記容器から取り出された基板を所定の搬送位置へ位置決めする予備位置決め機構と、予備位置決めされた基板を中心位置決め位置及び受け渡し待機位置へ移動する基板昇降機構と、受け渡し前の基板の中心位置を修正するセンタリング機構とを具備してなることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (5件)：
B25J 15/08
, B23Q 7/10
, B65G 61/00
, H01L 21/68
, G02F 1/13 101
