特許

J-GLOBAL ID：200903015205560850

レーザ加工装置

発明者： 堀口幸弘
出願人/特許権者： アイダエンジニアリング株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-033513
公開番号（公開出願番号）：特開2001-219288
出願日： 2000年02月10日
公開日（公表日）： 2001年08月14日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、プラズマの発生が静電容量に与える影響を抑えることで、より高速レーザ加工に対応できるレーザ加工装置を提供することである。【解決手段】ノズル中心部材の外周に、ガード電極と、測定電極を設け、さらにガード電極と測定電極の先端面を、ノズル中心部材の先端面より上方に設けたことを特徴とするレーザ加工装置。

請求項（抜粋）：

被加工物との距離に基づいて加工ヘッドの駆動を制御する制御装置を有するレーザ加工装置において、前記加工ヘッドの中心部に設けられたノズル中心部材と、前記ノズル中心部材の外周に設けられたガード電極と、前記ガード電極の外周に設けられ、被加工物との間の静電容量を検出する測定電極と、前記静電容量を測定し、測定された前記静電容量から前記ノズル中心部材と被加工物間のギャップ量を検出するギャップ量検出手段と、を有することを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (4件)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/04 ,  B23K 26/14 ,  G01B 7/00

FI (4件)：

B23K 26/06 A ,  B23K 26/04 C ,  B23K 26/14 Z ,  G01B 7/00 K

Fターム (13件)：

2F063AA22 ,  2F063BA21 ,  2F063CA08 ,  2F063DA01 ,  2F063DA05 ,  2F063HA04 ,  2F063KA01 ,  4E068CA12 ,  4E068CA15 ,  4E068CA17 ,  4E068CB01 ,  4E068CC00 ,  4E068CD15