特許

J-GLOBAL ID：200903015208932384

放射源、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法

発明者： コンスタンティン ニコラエヴィッチ コシェレフ ,  ファディム イェフゲニーウィチ バニネ ,  ウラディミール ヴィタレヴィッチ イヴァノフ ,  エリク レネ キエフト ,  エリク ローロフ ロープストラ ,  ルーカス ヘンリクス ヨハンネス ステフェンス ,  ユーリ ヴィクトロヴィッチ シデルコフ ,  ウゼヴォロド グリゴレヴィッチ コロシュニコフ ,  ウラディミール ミハイロヴィッチ クリフトスン ,  ロベルト ラフィレヴィッチ ガヤゾフ ,  オラフ ワルデマール ウラディミール フリユンス
出願人/特許権者： エイエスエムエル ネザランドズ ベスローテン フエンノートシャップ
代理人 (4件)： 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  岩本 行夫 ,  吉田 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-363845
公開番号（公開出願番号）：特開2004-165155
出願日： 2003年09月17日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】生産に適した出力レベルおよび繰返し速度を実現する放射源を提供する。【解決手段】プラズマを形成して電磁放射を生成するために、アノード220とカソード210間の空間内のガスまたは蒸気中で放電を起こすように構成される。ガスまたは蒸気は、キセノン、インジウム、リチウム、およびスズを含む。熱の損失を改善するために、放射源LAは複数のプラズマ放電要素240を含み、それぞれを短い時間だけ用い、その後他の放電要素が選択される。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

プラズマを形成して電磁放射を生成するために、アノードとカソード間の放電空間内の物質中で放電を起こすように構成され配置されたアノードおよびカソードを備える放射源であって、複数の放電要素を含む放射源。

IPC (7件)：

H05G2/00 ,  G03F7/20 ,  G21K5/00 ,  G21K5/02 ,  G21K5/08 ,  H01L21/027 ,  H05H1/24

FI (10件)：

H05G1/00 K ,  G03F7/20 521 ,  G21K5/00 Z ,  G21K5/02 X ,  G21K5/08 X ,  G21K5/08 Z ,  H05H1/24 ,  H01L21/30 531A ,  H01L21/30 531S ,  H01L21/30 517

Fターム (11件)：

4C092AA04 ,  4C092AA05 ,  4C092AA06 ,  4C092AB21 ,  4C092AC09 ,  4C092BD17 ,  4C092BE06 ,  4C092BE07 ,  5F046BA05 ,  5F046GA03 ,  5F046GC03

引用特許：

審査官引用 (14件)

• X線発生装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-239020   出願人：株式会社ニコン
• 特開平3-283398
  
• 極大面積比の面間熱拡散接続用プレートヒートパイプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-359631   出願人：アクトロニクス株式会社, 赤地久輝
• ヒートパイプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-287731   出願人：三菱マテリアル株式会社
• ヒートシンク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-257819   出願人：ダイヤモンド電機株式会社
• レーザープラズマX線源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-194668   出願人：株式会社島津製作所, 学校法人東海大学
• 短パルス硬X線発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-333641   出願人：日本原子力研究所
• 金属プラズマ放電型X線発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-344574   出願人：日本原子力研究所
• 冷熱拡散用ヒートパイプおよびその設置方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-026667   出願人：古河電気工業株式会社
• 特開平3-283398
  
• 特開平4-110800
  
• 特開平4-110800
  
• レーザー励起型X線源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-105642   出願人：工業技術院長, 株式会社島津製作所
• ガス放電から超紫外線および軟X線を生成する装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-506273   出願人：フラウンホッファー-ゲゼルシャフトツァフェルダールングデァアンゲヴァンテンフォアシュンクエー.ファオ.