特許
J-GLOBAL ID:200903015214390402
金属材料の表面処理方法及びフッ化処理金型
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
山野 宏 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-055724
公開番号(公開出願番号):特開2001-240956
出願日: 2000年03月01日
公開日(公表日): 2001年09月04日
要約:
【要約】【課題】 フラットな平板だけでなく、アスペクト比で5.0程度の形状でも、金属材料の表面の硬度を高くし、撥水性をあげ、たとえば、ゴム用の金型として使用したときに、汚染されにくいものにすること。を提供する。【解決手段】 0.1〜10Paの真空中で、フッ素系ガスプラズマを発生させ、この中に金属材料をさらし、金属材料に、1〜50keV、100〜2000サイクルの高圧負パルスを印加して、フッ素イオンを金属材料表面に注入する。
請求項(抜粋):
0.1〜10Paの真空中で、フッ素系ガスプラズマを発生させ、この中に金属材料をさらし、金属材料に、1〜50keV、100〜2000サイクルの高圧負パルスを印加して、フッ素イオンを金属材料表面に注入することを特徴とする金属材料の表面処理方法。
IPC (4件):
C23C 8/36
, B29C 33/38
, C23C 14/48
, C25D 7/00
FI (4件):
C23C 8/36
, B29C 33/38
, C23C 14/48 Z
, C25D 7/00 F
Fターム (18件):
4F202AJ09
, 4F202CA30
, 4F202CD22
, 4K024AA02
, 4K024AB01
, 4K024BA02
, 4K024BB07
, 4K024DB03
, 4K024DB10
, 4K024GA03
, 4K024GA16
, 4K028BA01
, 4K028BA11
, 4K028BA12
, 4K029BA42
, 4K029BD03
, 4K029CA10
, 4K029EA05
引用特許:
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