特許

J-GLOBAL ID：200903015214954500

静電アクチュエータ

発明者： 鈴木 秀俊
出願人/特許権者： アスモ株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-035869
公開番号（公開出願番号）：特開2000-236681
出願日： 1999年02月15日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】 移動子に対して安定した推力を作用させることができる簡易な構成の静電アクチュエータを提供する。【解決手段】 制御回路13は、正端子スイッチU(+)〜W(+)又は負端子スイッチU(-)〜W(-)のいずれか一方と接地端子スイッチU(G)〜U(G)とを交互に閉成させるパルス信号を所定周波数で出力し、固定子11の電極22a〜22cに充電と放電とを交互に繰り返させ、かつ、正端子スイッチ又は負端子スイッチと接地端子の閉成時間の比率をパルス信号により調節することにより、各相の電極22a〜22cに印加する電圧の極性を切り替える。

請求項（抜粋）：

絶縁層に複数の電極を並設してなる固定子と、絶縁層に複数の電極を並設してなり、上記固定子に対して移動可能に配置された移動子とを備え、上記固定子と移動子のうち、一方では所定個置きに電極を接続して複数相を形成し、各相毎に極性を固定して電圧を印加し、他方では所定個置きに電極を接続して複数相を形成し、各相毎に極性を周期的に切り替えて電圧を印加する静電アクチュエータにおいて、上記固定子と移動子のうち、極性を周期的に切り替えて電圧を印加する側では、電極と電源の正側を接続する正端子スイッチと、電極と電源の負側を接続する負端子スイッチと、電極と接地側を接続する接地端子スイッチとを各相毎に設けると共に、該正端子スイッチ、負端子スイッチ及び接地端子スイッチを開閉するパルス信号を出力する制御回路を設け、該制御回路は、上記正端子スイッチ又は負端子スイッチのいずれか一方と上記接地端子スイッチとを交互に閉成させるパルス信号を所定周波数で出力し、電極に充電と放電とを交互に繰り返させ、かつ、上記正端子スイッチ又は負端子スイッチと接地端子の閉成時間の比率を上記パルス信号により調節することにより、各相の電極に印加する電圧の極性を切り替えるものである静電アクチュエータ。