特許
J-GLOBAL ID：200903015220229885
枚葉式ドライエツチング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-241976
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082474
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【目的】 腐蝕防止の後処理工程を含めて、経済的、かつ、量産的に処理を行なうことのできる枚葉式ドライエッチング装置を提供する。【構成】 被処理物を加熱板との間に隙間を設けて保持する被処理物保持手段と、該隙間の中にガスを導入するガス導入手段と、該加熱板の加熱手段と、該加熱板を所定温度範囲内に維持する温度制御手段との四者を具えた後処理室と、ドライエッチング室を真空を保って接続できるように構成した枚葉式ドライエッチング装置。
請求項（抜粋）：
ドライエッチング室と、該室と真空を保って接続される、被処理物の腐蝕防止の後処理室を備えた枚葉式ドライエッチング装置において、該後処理室内に、該被処理物を、加熱板との間に隙間を設けて保持する被処理物保持手段と、該隙間の中にガスを導入するガス導入手段と、該加熱板の加熱手段と、該加熱板の温度範囲を所定の一定範囲に維持する温度制御手段と、を具えたことを特徴とする枚葉式ドライエッチング装置。
引用特許：
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