特許
J-GLOBAL ID：200903015221136945
光学式変位測定装置及びその投光光量補正方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西川 惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-393884
公開番号（公開出願番号）：特開2002-195807
出願日： 2000年12月25日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：
【要約】【課題】受光部の受光光量に応じて投光部の投光光量を正確に補正することのできる光学式変位測定装置及びその投光光量補正方法を提供する。【解決手段】この光学式変位測定装置Aは、被測定物体Bに光ビームを照射する発光素子1と、被測定物体Bによる反射光がスポット光として照射される受光面にpn接合フォトダイオードよりなる複数の受光セルが一列に配列されたMOSイメージセンサ4と、各受光セルの出力信号をその配列順に読み込み、その出力信号からスポット光の中心位置を検出し、中心位置の変位から被測定物体Bの変位を求める動作を所定のサンプリング周期で繰り返し行うCPU5とを備える。CPU5は、各受光セルの出力信号を2回サンプリングする毎に、2回目に読み出した出力信号の大きさに応じて、その出力信号が所定の出力範囲内に収まるよう光量制御回路10を用いて発光素子1の投光光量を制御する。
請求項（抜粋）：
被測定物体に光ビームを照射する投光部と、被測定物体の表面での光ビームによる反射光がスポット光として照射される受光面に、受光量に応じた大きさの出力信号をそれぞれ発生する複数の光電変換素子が、被測定物体の変位によりスポット光の位置が変化する方向に沿って配列された受光部と、各光電変換素子の出力信号をその配列順に読み込み、その出力信号からスポット光の中心位置を検出し、中心位置の変位より被測定物体の基準位置からの変位を求める動作を所定のサンプリング周期で繰り返し行う変位検出部と、変位検出部が光電変換素子の出力信号を2回サンプリングする毎に、2回目にサンプリングした際の各光電変換素子の出力信号の大きさに応じて、出力信号が所定の出力範囲内に収まるように投光部の投光光量を制御する光量制御部とを備えて成ることを特徴とする光学式変位測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 B
, G01C 3/06 A
2F065AA02
, 2F065AA06
, 2F065AA19
, 2F065FF09
, 2F065GG12
, 2F065HH04
, 2F065JJ02
, 2F065JJ25
, 2F065NN02
, 2F065QQ01
, 2F065QQ03
, 2F065QQ29
, 2F112AA08
, 2F112BA03
, 2F112CA12
, 2F112CA13
, 2F112EA09
, 2F112FA07
, 2F112FA45
