特許
J-GLOBAL ID：200903015225682030
光学素子の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小山 有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-213392
公開番号（公開出願番号）：特開平10-059746
出願日： 1996年08月13日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：
【要約】【課題】 誘電体多層膜からなる回折格子等の光学素子を、簡便且つ周期の再現性よく製造する方法を提供する。【解決手段】 レーザ光を誘電体多層膜に照射すると、レーザ光のエネルギーが誘電体多層膜に吸収され、溶融・蒸発若しくはアブレーションを起こさせる閾値を超えた箇所において、レーザ光の強度に応じて誘電体多層膜が除去され、多数の誘電体凸部が1方向に沿って周期的に配列された回折格子が形成される。
請求項（抜粋）：
誘電率の異なる2種以上の層が積層された誘電体凸部を光の波長程度の格子定数をもつように周期的に配列してなる光学素子の製造方法において、この方法は、基材表面に誘電体多層膜を形成した後に、この誘電体多層膜に対し強度分布を有するレーザ光を照射し、前記誘電体多層膜にレーザ光のエネルギーを吸収させることで溶融・蒸発若しくはアブレーションを起こさせて前記誘電体多層膜の一部をレーザ光の強度に応じて除去し、他の部分を光の波長程度の格子定数をもつ周期的に配列される誘電体凸部として残すようにしたことを特徴とする光学素子の製造方法。
IPC (6件)：
C03C 17/34
, C03C 15/00
, C03C 23/00
, G02B 1/02
, G02B 5/18
, G02B 5/32
C03C 17/34 Z
, C03C 15/00 A
, C03C 23/00 D
, G02B 1/02
, G02B 5/18
, G02B 5/32
