特許
J-GLOBAL ID:200903015226582390
硬基板塗布装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山田 文雄 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-088963
公開番号(公開出願番号):特開平9-253544
出願日: 1996年03月19日
公開日(公表日): 1997年09月30日
要約:
【要約】【課題】 下部を塗布液槽に浸漬したマイクロロッドバーとその上方のニップローラとの間に硬基板を挟んで送ることにより、硬基板の下面に塗布液を塗布する場合に、塗布液の交換を非常に簡単かつ短時間で行えるようにして、装置の稼働率を向上させる。【解決手段】 それぞれ異なる塗布液用の複数組の塗布部を持ち、各塗布部の少なくともマイクロロッドバーと塗布液槽とを硬基板の搬送路から退出可能にした。各塗布部は昇降可能にしてもよいが、着脱可能にしてもよい。着脱可能にする場合は塗布部は2組であってもよい。
請求項(抜粋):
ロッド外周にワイヤを密着させて巻付けたマイクロロッドバーの下部を塗布液槽に浸漬し、このマイクロロッドバーとその上方に対向配置されたニップローラとの間に硬基板を挟んで送ることにより、前記硬基板の下面に塗布液を塗布する硬基板塗布装置において、前記マイクロロッドバーとニップローラと塗布液槽とで形成される塗布部を前記硬基板の搬送路に沿って複数組備え、各塗布部の塗布液槽にはそれぞれ異なる塗布液を収容する一方、各塗布部の少なくともマイクロロッドバーおよび塗布液槽を前記搬送路から退出可能としたことを特徴とする硬基板塗布装置。
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