特許

J-GLOBAL ID：200903015227793905

偏向器の製造方法、偏向器、及び露光装置

発明者： 武藤 治信 ,  矢野 弘
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-331678
公開番号（公開出願番号）：特開2004-165076
出願日： 2002年11月15日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】動作性能及び動作効率が優れた偏向器の製造方法を提供する。【解決手段】荷電粒子線を偏向する偏向器の製造方法であって、第1層、第2層、及び第1層と第2層との間に設けられた絶縁性の第3層を有する基板を用意する基板用意段階と、第1層を貫通する第1電極用貫通孔を形成する第1電極用貫通孔形成段階と、第2層を貫通する第2電極用貫通孔を形成する第2電極用貫通孔形成段階と、第1電極用貫通孔内に導電性材料を埋め込んで第1偏向電極を形成する第1電極形成段階と、第2電極用貫通孔内に導電性材料を埋め込んで第2偏向電極を形成する第2電極形成段階とを備える。【選択図】 図13

請求項（抜粋）：

荷電粒子線を偏向する偏向器の製造方法であって、 第1層、第2層、及び前記第1層と前記第2層との間に設けられた絶縁性の第3層を有する基板を用意する基板用意段階と、 前記第1層を貫通する第1電極用貫通孔を形成する第1電極用貫通孔形成段階と、 前記第2層を貫通する第2電極用貫通孔を形成する第2電極用貫通孔形成段階と、 前記第1電極用貫通孔内に導電性材料を埋め込んで第1偏向電極を形成する第1電極形成段階と、 前記第2電極用貫通孔内に導電性材料を埋め込んで第2偏向電極を形成する第2電極形成段階と を備えることを特徴とする製造方法。

IPC (4件)：

H01J37/147 ,  G03F7/20 ,  H01J37/305 ,  H01L21/027

FI (5件)：

H01J37/147 C ,  G03F7/20 504 ,  G03F7/20 521 ,  H01J37/305 B ,  H01L21/30 541B

Fターム (10件)：

2H097AA03 ,  2H097BA10 ,  2H097CA16 ,  2H097EA01 ,  2H097LA10 ,  5C033GG01 ,  5C034BB04 ,  5F056AA07 ,  5F056AA33 ,  5F056EA06