特許

J-GLOBAL ID：200903015228581618

位置決め方法、位置決め装置およびこれを用いた投影露光装置

発明者： 渡辺 智行 ,  柳原 政光 ,  加藤 正紀
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-177528
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007009
出願日： 1999年06月23日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 位置決め方法、位置決め装置およびこれを用いた投影露光装置において、サーチ失敗及び画像処理による時間遅延を無くし、最短時間にて位置決めを行うこと。【解決手段】 位置決めマークが検出可能範囲外にあるときに目標位置に対するずれ方向を検出し、この検出結果に基づいて対象物を移動させることにより位置決めマークを検出可能範囲内へ移動させるので、ずれ方向から移動方向を決定することにより、サーチ失敗が無いとともに位置決め時間の遅延を防ぐことができる。

請求項（抜粋）：

位置決めマークを有する対象物を載置したステージを移動させ前記位置決めマークを目標位置へ移動させることにより前記対象物を位置決めする方法であって、前記目標位置と検出可能範囲内にある前記位置決めマークとのずれを検出する第1検出工程と、前記位置決めマークが前記検出可能範囲外にあるときに前記目標位置に対するずれ方向を検出する第2検出工程と、前記第2検出工程の検出結果に基づいて前記対象物を移動させることにより前記位置決めマークを前記検出可能範囲内へ移動させる粗調整工程と、前記第1検出工程の検出結果に基づいて前記対象物を移動させることにより前記位置決めマークを前記目標位置へ移動させる微調整工程とを含むことを特徴とする位置決め方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/30 521 ,  G03F 9/00 G ,  G03F 9/00 Z ,  H01L 21/68 F

Fターム (30件)：

2H097KA02 ,  2H097KA12 ,  2H097KA20 ,  2H097KA28 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031JA06 ,  5F031JA38 ,  5F031JA50 ,  5F031MA27 ,  5F046BA03 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046CD02 ,  5F046EA02 ,  5F046EA03 ,  5F046EB02 ,  5F046EC01 ,  5F046FA09 ,  5F046FA19 ,  5F046FB10 ,  5F046FB12 ,  5F046FB16 ,  5F046FC05