特許
J-GLOBAL ID:200903015232634823

多層膜位相差顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 篠原 泰司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-161747
公開番号(公開出願番号):特開平5-011190
出願日: 1991年07月02日
公開日(公表日): 1993年01月19日
要約:
【要約】【目的】 透過型の位相板を用いる代わりに、反射光の位相を変え得るようにした光学系により構成される多層膜位相差顕微鏡を提供することである。【構成】 本発明による多層膜位相差顕微鏡は、物体に向けて輪帯照明光を照射する照明手段と、前記物体からの光を受けて該物体の像を形成する反射型対物レンズ25とを備えた顕微鏡において、前記対物レンズ25を構成している反射鏡26の反射面の所定部分に、その他の部分における反射光との間に実質的に1/4波長に相当する位相差を付与する手段28が設けられている。
請求項(抜粋):
物体に向けて輪帯照明光を照射する照明手段と、前記物体からの光を受けて該物体の像を形成する反射型対物レンズとを備えた顕微鏡において、前記対物レンズを構成している反射鏡の反射面の所定部分に、その他の部分における反射光との間に実質的に1/4波長に相当する位相差を付与する手段を設けたことを特徴とする位相差顕微鏡。

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