特許

J-GLOBAL ID：200903015238355659

露光装置

発明者： 平賀 亮三 ,  鈴木 武彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-185263
公開番号（公開出願番号）：特開平6-036984
出願日： 1992年07月13日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】【目的】 水銀灯の点灯方法を改良することにより、スループットを低下させることなく、露光光源としての水銀灯の寿命を延長することを可能にした露光装置を提供する。【構成】 超高圧水銀灯を有する露光装置において、モニターされた照度に相当する値が基準値と実質的に等しくなるように超高圧水銀灯への点灯電力の供給を変更する制御手段が、点灯電力を変更することのない特定間隔を有する。

請求項（抜粋）：

超高圧水銀灯からの光束を用いて原板上のパターンを感光材が塗布された基板に転写する露光装置において、前記原板の被照射面に相当する面の照度をモニターするモニター手段と、前記モニター手段の出力値と予め設定された基準値と比較する比較手段と、前記モニターされた値が基準値と実質的に等しくなるように前記超高圧水銀灯への点灯電力の供給を変更する制御手段を有し、前記制御手段は前記点灯電力を変更することのない特定間隔を有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 301 G ,  H01L 21/30 311 S